Евразийский сервер публикаций

Евразийский патент № 037810

   Библиографические данные
(11)037810    (13) B1
(21)201800125

 A ]   B ]   C ]   D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: G     


Документ опубликован 2021.05.24
Текущий бюллетень: 2021-05  
Все публикации: 037810  
Реестр евразийского патента: 037810  

(22)2017.12.29
(51) G01N 27/12 (2006.01)
B82Y 40/00(2011.01)
(43)A1 2019.07.31 Бюллетень № 07  тит.лист, описание 
(45)B1 2021.05.24 Бюллетень № 05  тит.лист, описание 
(96)2017000151 (RU) 2017.12.29
(71)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)
(72)Сысоев Виктор Владимирович, Лашков Андрей Витальевич, Плугин Илья Анатольевич (RU), Синицкий Александр Сергеевич, Липатов Алексей Владимирович (US)
(73)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)
(54)ГАЗОВЫЙ СЕНСОР ХЕМОРЕЗИСТИВНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ВИСКЕРОВ СУЛЬФИДА ТИТАНА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
   Формула 
(57) 1. Способ изготовления газового сенсора хеморезистивного типа на основе вискеров сульфида титана, характеризующийся тем, что готовят смесь титановой фольги и порошка серы, в которой соотношение массы титана и массы серы составляет не менее 1:1.8, нагревают данную смесь в запаянной вакуумированной кварцевой ампуле и синтезируют вискеры TiS3, отличающиеся большим аспектным отношением геометрических размеров и длиной 100-200 мкм, наносят вискеры TiS3 на диэлектрическую подложку, оборудованную металлическими электродами, имеющими омический контакт с вискерами TiS3.
2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что синтез вискеров TiS3 проводят в герметичной вакуумированной кварцевой ампуле под давлением ниже атмосферного в течение 3-4 дней при однородной вдоль ампулы температуре 500-600°C, по окончании чего обеспечивают в течение часа градиентный нагрев вакуумированной ампулы так, чтобы край ампулы с вискерами TiS3 был нагрет выше 500°C, а другой край был охлажден до температуры ниже 444,7°C.
3. Способ по п.1, характеризующийся тем, что вискеры TiS3 наносят капельным способом или методом Лэнгмюра-Блоджетт на диэлектрическую подложку из суспензии, приготовленной на основе дистиллированной воды, или спиртов, или ацетона и подвергнутой диспергированию в ультразвуковой ванне.
4. Способ по п.1, характеризующийся тем, что плотность матричного слоя вискеров сульфида титана на диэлектрической подложке оптимизируют так, чтобы вискеры лежали в один слой и формировали перколяционные дорожки между электродами.
5. Способ по п.1, характеризующийся тем, что диэлектрическую подложку оборудуют двумя электродами при изготовлении дискретного газового сенсора хеморезистивного типа или набором электродов в количестве более трех при изготовлении мультисенсорной линейки хеморезистивного типа.
6. Газовый сенсор хеморезистивного типа, полученный по способу, описанному в одном из пп.1-5, характеризующийся тем, что в качестве газочувствительного материала используют матричный слой вискеров сульфида титана, помещенный на диэлектрическую подложку между двумя измерительными электродами, у которого при комнатной температуре изменяется сопротивление под воздействием примесей органических паров или паров воды в окружающем воздухе.
7. Газовый сенсор хеморезистивного типа, в котором в качестве газочувствительного материала используют матричный слой вискеров сульфида титана, полученный по способу, описанному в одном из пп.1-5, характеризующийся тем, что количество измерительных электродов составляет более трех, поверх которых наносят матричный слой вискеров сульфида титана различной плотности; при этом слой, заключенный между каждой парой электродов, образует сенсорный элемент, а вся совокупность сенсорных элементов образует мультисенсорную линейку.
8. Газовый сенсор хеморезистивного типа по пп.6, 7, характеризующийся тем, что измерительные электроды наносят поверх матричного слоя вискеров сульфида титана.
9. Газовый сенсор хеморезистивного типа по пп.6, 7, характеризующийся тем, что содержит в своем составе светодиод с излучением на длинах волн в ультрафиолетовой области, 0.01-0.4 мкм, которое активирует матричный слой вискеров сульфида титана.
Zoom in