Евразийский сервер публикаций

Евразийский патент № 036466

   Библиографические данные
(11)036466    (13) B1
(21)201892773

 A ]   B ]   C ]   D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: G     


Документ опубликован 2020.11.13
Текущий бюллетень: 2020-11  
Все публикации: 036466  
Реестр евразийского патента: 036466  

(22)2017.06.22
(51) G02B 26/00 (2006.01)
G01J 3/26(2006.01)
(43)A1 2019.05.31 Бюллетень № 05  тит.лист, описание 
(45)B1 2020.11.13 Бюллетень № 11  тит.лист, описание 
(31)20161086
(32)2016.06.29
(33)NO
(86)EP2017/065364
(87)2018/001851 2018.01.04
(71)ТЮНАБЛ АС (NO)
(72)Йохансен Иб-Руне (NO)
(73)ТЮНАБЛ АС (NO)
(74)Поликарпов А.В., Соколова М.В., Путинцев А.И., Черкас Д.А., Игнатьев А.В. (RU)
(54)МОДУЛИРОВАННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО
   Формула 
(57) 1. Спектрометр для обнаружения газа, содержащий интерферометр Фабри-Перо, содержащий две плоские по существу параллельные зеркальные поверхности, установленные в рамке, при этом между зеркалами имеется известное расстояние, и по меньшей мере одна из зеркальных поверхностей является частично отражающей и частично прозрачной, кроме того, имеются по меньшей мере два исполнительных блока, каждый из которых содержит по меньшей мере один исполнительный механизм, при этом первый исполнительный блок регулирует указанное расстояние между указанными зеркалами так, чтобы регулировать фильтруемую длину волны в пределах заданного диапазона, а второй исполнительный блок модулирует указанное расстояние с выбранной частотой в диапазоне 10-1000 Гц, в результате чего оба блока совместно обеспечивают вариацию расстояния между зеркалами в диапазоне, соответствующем диапазону длин волн, фильтруемых в указанном интерферометре Фабри-Перо, причем амплитуда перемещений, обеспечиваемых вторым исполнительным блоком, меньше амплитуды перемещений, обеспечиваемых первым исполнительным блоком,
при этом по меньшей мере одно из указанных зеркал связано с рамкой через кремниевую мембрану, и, по меньшей мере, второй из указанных исполнительных блоков содержит пьезоэлектрический материал на указанной мембране, таким образом образуя биморфный или униморфный исполнительный блок,
причем второй исполнительный механизм работает при более низкой деформации, чем первый исполнительный механизм, предпочтительно близкой к нулевой деформации, чтобы увеличить срок службы исполнительного механизма.
2. Спектрометр по п.1, в котором модуляция представляет собой параллельное перемещение относительно оптической оси фильтра так, чтобы длина волны фильтра сканировалась вперед и назад.
3. Спектрометр по п.1, в котором модуляция является синусоидальной.
4. Спектрометр по п.1, в котором длина волны фильтра подстраивается с линейным изменением так, чтобы длина волны регулировалась в пределах заданного диапазона, при этом линейное изменение представляет собой линейное увеличение длины волны со временем в пределах каждого периода.
5. Спектрометр по п.1, в котором первый исполнительный блок и второй исполнительный блок перемещают одно и то же зеркало в интерферометре Фабри-Перо.
6. Спектрометр по п.1, в котором первый исполнительный блок перемещает одно зеркало в интерферометре Фабри-Перо, а другой исполнительный блок перемещает второе зеркало в интерферометре Фабри-Перо.
7. Спектрометр по п.1, который выполнен с возможностью измерения расстояния между зеркалами, соответствующего длине волны фильтрации, путем измерения емкости между выбранными областями, и сравнения усредненной длины волны фильтрации с модуляцией и без модуляции для использования этой информации для оценки глубины модуляции.
8. Спектрометр по п.1, в котором модуляция обеспечивается с использованием перемещения, обеспечивающего изменяемый угол между зеркальными плоскостями, так что при приложении модуляции спектр становится последовательно более широким и более узким.
9. Спектрометр по п.1, в котором по меньшей мере одно из зеркал представляет собой мембрану из фотонного кристалла.
10. Спектрометр по п.1, в котором по меньшей мере одно из зеркал выполнено на основе материала с поверхностными плазмонами.
11. Спектрометр по п.1, в котором в указанной мембране имеются отверстия, а биморфные или униморфные исполнительные механизмы, установленные на плечах мембраны, идут от указанной рамки до указанного зеркала.
12. Спектрометр по п.1, в котором по меньшей мере в одном исполнительном блоке используются электростатические силы.
13. Спектрометр по п.1, содержащий средства для обнаружения фазового сдвига между прикладываемой модуляцией и реальными модуляционными изменениями длины волны, например, вызванного эффектом сдавливания пленки, при этом система способна компенсировать этот сдвиг путем изменения амплитуды и, возможно, фазы прикладываемой модуляции.
14. Спектрометр по п.1, который выполнен с возможностью обнаружения света, прошедшего через интерферометр, с использованием обнаружения гармоник, путем демодуляции сигнала на частотах f, 2f, 3f, 4f или на более высокой кратной частоте.
15. Применение спектрометра по п.1 в фотоакустическом детекторе.
Zoom in