Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 202000012

   Библиографические данные
(21)202000012    (13) A1
(22)2018.06.19

 A ]   B ]   C ]   D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: H     


Документ опубликован 2020.07.31
Текущий бюллетень: 2020-07  
Все публикации: 202000012  

(51) H01L 21/673 (2006.01)
H01L 21/687 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
C23C 16/509 (2006.01)
C23C 16/458 (2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(43)A1 2020.07.31 Бюллетень № 07  тит.лист, описание 
(31)17178276.6
(32)2017.06.28
(33)EP
(86)EP2018/066192
(87)2019/002014 2019.01.03
(71)МАЙЕР БУРГЕР (ДЖЁМАНИ) ГМБХ (DE)
(72)Шлемм Германн, Кеер Мирко, Анзорге Эрик, Рашке Себастьян (DE)
(74)Курышев В.В. (RU)
(54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ СУБСТРАТА, ОБРАБАТЫВАЮЩЕЕ ПРИСПОСОБЛЕНИЕ С ПРИЕМНОЙ ПЛАТОЙ, СОГЛАСОВАННОЙ С НОСИТЕЛЕМ СУБСТРАТА ЭТОГО УСТРОЙСТВА, И СПОСОБ ОБРАБОТКИ СУБСТРАТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЭТОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ СУБСТРАТА, А ТАКЖЕ ОБРАБАТЫВАЮЩАЯ УСТАНОВКА
   Реферат  [ENG]
(57) Изобретение касается устройства для транспортировки субстрата в обрабатывающее приспособление или из него, обрабатывающего приспособления для технологической обработки субстрата и обрабатывающей установки с перемещающей конструкцией для перемещения указанного устройства для транспортировки субстрата. При этом имеет устройство для транспортировки субстрата носитель субстрата, который содержит простирающуюся в горизонтальном направлении удерживающую поверхность и один или несколько захватывающих рычагов. Удерживающая поверхность выполнена конструктивно на первой плоскости, обращенной к субстрату, ровной и равномерной, форма которой в основном соответствует форме субстрата и плоскость которой в основном равна плоскости субстрата, при этом субстрат удерживается только под действием собственного веса своей обратной плоскостью на удерживающей поверхности. Обрабатывающее приспособление имеет приемную плату, на которой удерживается субстрат во время его обработки, при этом приемная плата имеет на первой плоскости углубление, которое предназначено для того, чтобы размещать в нем указанный носитель субстрата во время обработки субстрата.
Zoom in