Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 201892470

   Библиографические данные
(21)201892470    (13) A1
(22)2018.11.28

 A ]   B ]   C ]   [ D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: G     


Документ опубликован 2020.05.29
Текущий бюллетень: 2020-05  
Все публикации: 201892470  

(51) G01R 27/02 (2006.01)
G01R 31/26(2006.01)
(43)A1 2020.05.29 Бюллетень № 05  тит.лист, описание 
(31)2018140517
(32)2018.11.16
(33)RU
(71)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ ИМ. Н.Л. ДУХОВА" (RU)
(72)Кожевников Андрей Юрьевич (RU)
(54)СПОСОБ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПРИ ПРИМЕНЕНИИ ЧЕТЫРЁХКОНТАКТНЫХ УСТРОЙСТВ И УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ ЧЕТЫРЁХ ЗОНДОВ
   Реферат  [ENG]
(57) Изобретение относится к измерительной технике и представляет собой способ автоматизированного измерения сопротивлений с помощью четырёхконтактного устройства и измерения удельного сопротивления полупроводника с помощью четырёх зондов. При реализации способа в схеме четырёхзондового метода измерений сопротивления и удельного сопротивления полупроводника при помощи ключей двухпроводного мультиплексора проводят восемь коммутаций между зондами или контактами 1 и 2, 3 и 4, 1 и 3, 2 и 4 при прямом и обратном токе и измеряют восемь промежуточных значений сопротивления. Путём решения системы уравнений определяют значение сопротивления. Из соотношения, связывающего найденное сопротивление, толщину контролируемого объекта между зондами 2 и 3 и расстояние между зондами 2 и 3, определяют значение удельного сопротивления полупроводника. Техническими результатами являются высокая точность и повышенная надежность определения значений сопротивления и удельного сопротивления полупроводников. Кроме того, данный способ позволяет контролировать целостность всех образуемых электрических цепей и исключать из результата измерений значения переходных и контактных сопротивлений, сопротивлений линий связи и ключей мультиплексора в образуемых электрических цепях.