Евразийский сервер публикаций

Евразийский патент № 035334

   Библиографические данные
(11)035334    (13) B1
(21)201790268

 A ]   B ]   C ]   D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: C     


Документ опубликован 2020.05.28
Текущий бюллетень: 2020-05  
Все публикации: 035334  
Реестр евразийского патента: 035334  

(22)2015.08.05
(51) C23C 14/35 (2006.01)
C23C 14/56 (2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
(43)A1 2017.06.30 Бюллетень № 06  тит.лист, описание 
(45)B1 2020.05.28 Бюллетень № 05  тит.лист, описание 
(31)102014011877.0
(32)2014.08.11
(33)DE
(86)DE2015/000397
(87)2016/023533 2016.02.18
(71)ГРЕНЦЕБАХ МАШИНЕНБАУ ГМБХ (DE)
(72)Клайдайтер Герд, Криш Томас, Фиуковски Йорг, Гавер Олаф (DE)
(73)ГРЕНЦЕБАХ МАШИНЕНБАУ ГМБХ (DE)
(74)Медведев В.Н. (RU)
(54)ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
   Формула 
(57) 1. Вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая последовательность распылительных сегментов (3) и газовых разделительных сегментов (2) с одной сплошной подложечной плоскостью (1), при этом:
d) каждый из распылительных сегментов (3) состоит из ванны (12) реактора с установленным внутри транспортирующим устройством (11) для транспортировки подложек (1) и по меньшей мере из одной крышки (4) реактора, которая с помощью фланца (6) реактора соединена с ванной (12) реактора, причем фланец (6) реактора установлен в непосредственной близости над подложечной плоскостью (1), причем катодный опорный блок (5) с мишенями (8) и впускные каналы (10) для газа находятся в непосредственной близости от подложки с отбойными щитками (9) в крышке (4) реактора;
e) газовые разделительные сегменты (2) в области подложечной плоскости (1) имеют проходящий по всей длине газового разделительного сегмента (2) свод (14) туннеля, который выполнен с возможностью подгонки с помощью нескольких подъемных и опускающих элементов (17) под толщину соответствующей подложки (1) таким образом, что между подложкой (1) и сводом (14) туннеля по высоте остается лишь незначительное свободное пространство - зазор (18); и
f) при этом вакуумная установка для нанесения покрытий содержит один или несколько вакуумных насосов (15) и изменяемых в объеме воздухосборников (25), при этом распылительный сегмент выполнен с возможностью его вакуумирования посредством одного или нескольких вакуумных насосов, а воздухосборник выполнен с возможностью сбора транспортируемого воздуха вакуумным насосом и последующей реаэрации соответствующего сегмента, при которой воздух из воздухосборника поступает снова в этот сегмент.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что в верхней области крышки (4) реактора для контроля процесса нанесения покрытия несколько детектирующих элементов (32) установлены с возможностью сдвигания на устройстве для размещения, а в отношении их диапазона охвата - с возможностью поворота независимо от положения.
3. Установка по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что опорный блок (5) содержит многоярусный катод в форме двух лежащих друг над другом парных мишеней, причем они установлены с возможностью поворота вместе со своими отбойными щитками (9) вокруг общей оси (37) вращения, и при этом возможны четыре различные конфигурации нанесения покрытия.
4. Установка по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что каждые две расположенные рядом камеры (41, 42) герметизированы относительно наружной части с помощью кольцевого уплотнения (40), проходящего вокруг общего периметра, причем дополнительно в этой области предусмотрена наружная уплотнительная лента (39), причем промежуток между кольцевым уплотнением (40) и уплотнительной лентой (39) контролируется датчиком (38) вакуума.
5. Способ нанесения покрытия, выполняемый в вакуумной установке для нанесения покрытий по любому из пп.1-4, содержащей последовательность распылительных сегментов (3) и газовых разделительных сегментов (2) с одной сплошной подложечной плоскостью (1), в котором:
d) в распылительных сегментах (3) фланец (6) реактора для соединения ванны (12) реактора и крышки (4) реактора устанавливают в непосредственной близости над подложечной плоскостью (1), чтобы при изменениях в процессе и при работах по обслуживанию заменять всю крышку (4) реактора со всеми находящимися в ней конструктивными узлами быстро и экономично;
e) газовые разделительные сегменты (2) по всей длине имеют туннель для отграничения соответствующей подложки от примыкающей области газового разделительного сегмента (2), причем высоту туннеля подгоняют под толщину соответствующей подложки таким образом, чтобы положение свода (14) туннеля с помощью его нескольких подъемных и опускающих элементов (17) можно было изменять так, что между подложкой и сводом (14) туннеля остается минимальное свободное пространство – зазор;
f) причем вакуумирование распылительных сегментов (3) и/или газовых разделительных сегментов (2) выполняют с помощью одного или нескольких вакуумных насосов (15), причем отводимый при этом воздух собирают в изменяющемся в объеме воздухосборнике (25), а при последующей реаэрации соответствующего сегмента (3, 2) снова подают воздух в этот сегмент (3, 2), чтобы снова использовать уже однажды кондиционированный воздух.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что для своевременного контроля процесса нанесения покрытия в верхней области крышки (4) реактора для контроля процесса нанесения покрытия устанавливают несколько детектирующих элементов (32), которые можно сдвигать на устройстве для размещения, а в отношении их диапазона охвата их можно поворачивать независимо от положения.
7. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что для оптимизации процесса нанесения покрытия опорный блок (5) снабжают многоярусным катодом в форме двух лежащих друг над другом парных мишеней, причем их устанавливают с возможностью поворота вместе с их отбойными щитками (9) вокруг общей оси (37) вращения.
Zoom in