Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 201892465

   Библиографические данные
(21)201892465    (13) A1
(22)2018.11.28

 A ]   B ]   C ]   [ D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел:      


Документ опубликован 2019.12.30
Текущий бюллетень: 2019-12  
Все публикации: 201892465  

(51) B23K 26/402 (2006.01)
B23K 26/53 (2006.01)
C03B 25/00(2006.01)
(43)A1 2019.12.30 Бюллетень № 12  тит.лист, описание 
(31)2018122426
(32)2018.06.20
(33)RU
(71)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ ИМ. Н.Л. ДУХОВА" (RU)
(72)Коваленко Александр Фёдорович (RU)
(74)Ульянин О.В. (RU)
(54)СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН
   Реферат  [ENG]
(57) Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для лазерного отжига пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Техническим результатом изобретения является исключение разрушения пластин термоупругими напряжениями в процессе обработки и повышение выхода годных пластин. Технический результат достигается тем, что в способе лазерной обработки неметаллических пластин, заключающемся в облучении их поверхности непрерывным лазерным излучением с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью пластины температуры отжига, осуществляют предварительный нагрев пластины до температуры, обеспечивающей выполнение критерия термопрочности.