Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 201800241

   Библиографические данные
(21)201800241    (13) A1
(22)2018.05.03

 A ]   B ]   C ]   [ D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: C     


Документ опубликован 2019.11.29
Текущий бюллетень: 2019-11  
Все публикации: 201800241  

(51) C30B 23/02 (2006.01)
C30B 29/36 (2006.01)
F27B 14/10 (2006.01)
C23C 14/24 (2006.01)
C23C 14/58 (2006.01)
B32B 15/04 (2006.01)
C23C 8/64(2006.01)
(43)A1 2019.11.29 Бюллетень № 11  тит.лист, описание 
(96)2018000054 (RU) 2018.05.03
(71)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "ЛЭТИ" ИМ. В. И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)" (RU)
(72)Авров Дмитрий Дмитриевич, Быков Юрий Олегович, Комлев Андрей Евгеньевич, Лебедев Андрей Олегович, Таиров Юрий Михайлович (RU)
(54)СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ТИГЛЯ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ
   Реферат  [ENG]
(57) Изобретение относится к микроэлектронике и касается технологии получения монокристаллического SiC - широко распространенного материала, используемого для изготовления интегральных микросхем, в частности подготовки тиглей для выращивания монокристаллов карбида кремния. В способе подготовки тигля для выращивания монокристаллов карбида кремния, включающем создание футеровки внутренней поверхности тигля путем покрытия внутренней боковой поверхности и внутреннего дна тигля предварительно раскроенными в соответствии с их размерами деталями из футеровочного материала, предварительно создают футеровочный материал путем нанесения на одну из сторон листа графитовой фольги пленки тугоплавкого металла толщиной от 0,1 до 20 мкм, после раскроя деталей из футеровочного материала создают футеровку тигля, покрывая его внутреннюю поверхность футеровочным материалом таким образом, что поверхность, покрытая пленкой тугоплавкого металла, обращена внутрь тигля, и проводя карбидизацию пленки тугоплавкого металла. Способ позволяет обеспечить технический результат, заключающийся в повышении срока службы тигля.