|
| |
(21) | 201800297 (13) A1 |
    Разделы: A B C E F G H  |
(22) | 2018.06.04 |
(51) | H01C 17/065 (2006.01)
B82Y 40/00 (2011.01) |
(31) | 2018111896 |
(32) | 2018.04.02 |
(33) | RU |
(71) | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (RU) |
(72) | Соломатин Максим Андреевич, Сысоев Виктор Владимирович, Федоров Федор Сергеевич, Ушаков Николай Михайлович (RU) |
(54) | СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХЕМОРЕЗИСТОРА НА ОСНОВЕ НАНОСТРУКТУР ОКСИДА КОБАЛЬТА ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ |
(57) Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке газовых сенсоров хеморезистивного типа, используемых для детектирования газов. Способ изготовления хеморезистора на основе наноструктур оксида кобальта в рамках электрохимического метода включает осаждение наноструктур оксида кобальта из водного электролита, содержащего Co(NO3)2, на диэлектрическую подложку, оборудованную полосковыми электродами, выполняющими роль рабочего электрода, к которому приложен постоянный электрический потенциал в течение заданного времени. Способ позволяет изготовить с низкой себестоимостью хеморезистор, функционирующий при температурах 150-270°C, который способен детектировать органические пары при низких (от 1 ppm) концентрациях. В случае оборудования подложки набором полосковых электродов в количестве не менее четырех возможно формирование мультисенсорной линейки хеморезистивного типа, векторный сигнал которой после обработки методами распознавания образов позволяет осуществить селективное различение тестовых газовых смесей.
|