Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 07´2019

  

(21) 

201800125 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2017.12.29

(51) 

G01N 27/12 (2006.01)
B82Y 40/00
(2011.01)

(96) 

2017000151 (RU) 2017.12.29

(71) 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)

(72) 

Сысоев Виктор Владимирович, Лашков Андрей Витальевич, Плугин Илья Анатольевич (RU), Синицкий Александр Сергеевич, Липатов Алексей Владимирович (US)

(54) 

ГАЗОВЫЙ СЕНСОР ХЕМОРЕЗИСТИВНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ВИСКЕРОВ СУЛЬФИДА ТИТАНА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

(57) Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке газовых сенсоров хеморезистивного типа, используемых для детектирования газов. Способ изготовления газового сенсора включает в себя высокотемпературный синтез вискеров TiS3 из смеси титановой фольги и порошка серы в герметичной вакуумированной кварцевой ампуле, нанесение синтезированных вискеров на диэлектрическую подложку, оборудованную компланарными электродами и последующее размещение сенсора в корпус чипа путем разваривания электродов к выводам чипа. Результатом является изготовление нового хеморезистивного газового сенсора, работающего при комнатной температуре. В случае оборудования подложки набором компланарных электродов в количестве более трех возможно формирование мультисенсорной линейки, векторный сигнал которой после обработки методами распознавания образов позволяет осуществить селективное различение тестовых газовых смесей.


наверх