Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 01´2019

  

(21) 

201800470 (13) A1       Разделы: A B C E F G H    

(22) 

2016.04.01

(51) 

H01L 21/336 (2006.01)
H01L 29/786
(2006.01)
H01L 29/16
(2006.01)

(31) 

201610156131.8

(32) 

2016.03.18

(33) 

CN

(86) 

PCT/CN2016/078391

(87) 

WO 2017/156803 2017.09.21

(71) 

УХАНЬ ЧАЙНА СТАР ОПТОЭЛЕКТРОНИКС ТЕКНОЛОДЖИ КО., ЛТД (CN)

(72) 

Ван Сюаньюнь (CN)

(74) 

Кузнецова С.А. (RU)

(54) 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГРАФЕНОВОГО ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ТРАНЗИСТОРА

(57) Настоящее изобретение предоставляет способ изготовления графенового тонкопленочного транзистора, который включает осаждение слоя графена на поверхность медной фольги; осаждение слоя металла на поверхность слоя графена; присоединение слоя-подложки к поверхности слоя металла с образованием графеновой пленки; размещение графеновой пленки в растворе для травления меди до полного растворения медной фольги, затем перемещение графеновой пленки на целевую подложку и удаление слоя-подложки; определение структур истока и стока на поверхности слоя металла, изготовление электрода истока и электрода стока и изготовление электрода затвора на целевой подложке.


наверх