Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 11´2018

  

(11) 

031169 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201690384

(22) 

2013.11.28

(51) 

H01L 21/77 (2006.01)
H01L 21/82
(2006.01)
H01L 51/56
(2006.01)

(31) 

201310361665.0

(32) 

2013.08.19

(33) 

CN

(43) 

2016.07.29

(86) 

PCT/CN2013/088052

(87) 

WO 2015/024320 2015.02.26

(71) 

(73) ШЭНЬЧЖЭНЬ ЧАЙНА СТАР ОПТОЭЛЕКТРОНИКС ТЕКНОЛОДЖИ КО., ЛТД. (CN)

(72) 

Ко Кай-Юань (CN)

(74) 

Носырева Е.Л. (RU)

(54) 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИСПЛЕЯ НА ОРГАНИЧЕСКИХ СВЕТОДИОДАХ

(57) 1. Способ изготовления дисплея на органических светодиодах, включающий

формирование неорганического слоя на подложке;

формирование отверстия в неорганическом слое;

формирование двух металлических проводящих дорожек, расположенных на противоположных сторонах отверстия;

формирование органического слоя на металлических проводящих дорожках и

формирование слоя оксида индия-олова на органическом слое.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что форма отверстия имеет узкую верхнюю часть и широкую нижнюю часть.

3. Способ по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что этап формирования отверстия в неорганическом слое включает

нанесение покрытия негативного фоторезистивного слоя на неорганический слой;

выполнение этапа экспонирования негативного фоторезистивного слоя с помощью фотошаблона таким образом, чтобы негативный фоторезистивный слой, соответствующий положению отверстия, не облучался светом;

выполнение этапа проявления негативного фоторезистивного слоя для удаления негативного фоторезистивного слоя, соответствующего положению отверстия; и

выполнение этапа травления для удаления неорганического слоя, соответствующего положению отверстия.

4. Способ по п.3, отличающийся тем, что дополнительно включает этап удаления негативного фоторезистивного слоя с неорганического слоя после этапа выполнения этапа травления для удаления неорганического слоя, соответствующего положению отверстия.

5. Способ по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что две металлические проводящие дорожки служат в качестве истоков.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что две металлические проводящие дорожки служат в качестве стоков.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что две металлические проводящие дорожки сформированы методом жидкостного травления.

Увеличить масштаб


наверх