Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 09´2018

  

(21) 

201890432 (13) A1       Разделы: A B C E F G H    

(22) 

2016.08.02

(51) 

H01L 21/687 (2006.01)

(31) 

DE102015113956.1

(32) 

2015.08.24

(33) 

DE

(86) 

PCT/IB2016/054630

(87) 

WO 2017/033076 2017.03.02

(71) 

МЕЙЕР БЮРГЕР (ДЖЁМАНИ) ГМБХ (DE)

(72) 

Рашке Себастьян, Анзорге Эрик, Кер Мирко, Бём Кристиан (DE)

(74) 

Хмара М.В., Ильмер Е.Г., Пантелеев А.С., Осипов К.В., Липатова И.И., Дощечкина В.В., Новоселова С.В. (RU)

(54) 

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ

(57) Изобретение относится к подложкодержателю с плитой подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложкоприемная область для принятия соответственно одной подложки. Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы предложить подложкодержатель, который, по возможности, без негативного воздействия на свойства подложки или на обработку подложки гарантировал бы надежное прилегание подложки и при быстрых манипуляциях простое и без разрушений изъятие подложки из подложкодержателя. Указанная задача согласно изобретению решена посредством того, что подложкоприемная область имеет внутреннюю область и проходящую вокруг внутренней области внешнюю область, причем внешняя область имеет плато, расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области, для прилегания краевых областей подложки, причем между плато предусмотрены вентиляционные каналы.

Увеличить масштаб


наверх