Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 05´2018

  

(21) 

201700026 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2016.11.21

(51) 

G01B 9/02 (2006.01)

(96) 

2016000101 (RU) 2016.11.21

(71) 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю. А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)

(72) 

Киселев Илья Викторович (DE), Сысоев Виктор Владимирович (RU), Киселев Егор Ильич (DE), Ушакова Екатерина Владимировна, Беляев Илья Викторович (RU)

(54) 

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ С ПОМОЩЬЮ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ БЕЛОГО СВЕТА

(57) Данное изобретение относится к области метрологии тонких пленок, а именно к способу определения толщины тонких прозрачных пленок бесконтактным способом с помощью оптических приборов. Задачей заявляемого изобретения является разработка способа измерения толщины тонкой прозрачной пленки в диапазоне величин менее длины когерентности используемого света с помощью сканирующей интерферометрии белого света путем использования фазового спектра коррелограмм. Задача решается корректировкой нелинейного фазового спектра, полученного для поверхности, содержащей пленку, вычитанием нелинейного фазового спектра, полученного для поверхности, не содержащей пленку. Техническим результатом изобретения является снижение нижней границы диапазона толщин измеряемых тонких пленок и повышение помехозащищенности способа, а также адаптация его к данным, полученным с помощью объективов с высоким увеличением и высокой числовой апертурой.


наверх