| |
(11) | 029641 (13) B1 |
Разделы: A B C D E F G H |
(21) | 201500244 |
(22) | 2015.02.04 |
(51) | H01L 21/318 (2006.01) H01L 23/48 (2006.01) |
(43) | 2016.08.31 |
(96) | 2015/EA/0016 (BY) 2015.02.04 |
(71) | (73) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ИНТЕГРАЛ"- УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ ХОЛДИНГА "ИНТЕГРАЛ" (BY) |
(72) | Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Булыгин Александр Васильевич, Шикуло Владимир Евгеньевич (BY) |
(54) | МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИНТЕГРАЛЬНОЙ СХЕМЫ |
(57) Интегральная схема, содержащая сформированные на поверхности полупроводниковой пластины активные и пассивные элементы, металлизацию, включающую рисунок из токопроводящего материала с контактными площадками для присоединения внешних выводов, слой оксида кремния и пассивирующий слой нитрида кремния, отличающаяся тем, что пристеночные спейсеры на боковых поверхностях токопроводящего материала выполнены в виде слоев оксида кремния, а пассивирующий слой нитрида кремния выполнен толщиной 0,8-1,2 мкм.
|