Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 11´2017

  

(21) 

201791237 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2014.12.05

(51) 

H05H 1/24 (2006.01)

(86) 

PCT/US2014/068919

(87) 

WO 2016/089427 2016.06.09

(71) 

ЭЙ-ДЖИ-СИ ФЛЕТ ГЛАСС НОРТ ЭМЕРИКЕ, ИНК. (US); ЭЙ-ДЖИ-СИ ГЛАСС ЮРУОП, С.А. (BE); АСАХИ ГЛАСС КО., ЛТД. (JP)

(72) 

Чамберс Джон, Машвитц Питер, Линь Юпин, Джонсон Герб (US)

(74) 

Веселицкая И.А., Веселицкий М.Б., Кузенкова Н.В., Каксис Р.А., Белоусов Ю.В., Куликов А.В., Кузнецова Е.В., Соколов Р.А., Кузнецова Т.В. (RU)

(54) 

ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК С ПРИМЕНЕНИЕМ УМЕНЬШАЮЩЕГО ОБРАЗОВАНИЕ МАКРОЧАСТИЦ ПОКРЫТИЯ И СПОСОБ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА С ПРИМЕНЕНИЕМ УМЕНЬШАЮЩЕГО ОБРАЗОВАНИЕ МАКРОЧАСТИЦ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТЕЙ

(57) В основном, настоящее изобретение относится к плазменному источнику с применением уменьшающего образование макрочастиц покрытия и к способу использования плазменного источника с применением уменьшающего образование макрочастиц покрытия для осаждения тонкопленочных покрытий и модификации поверхностей. Прежде всего, настоящее изобретение относится к плазменному источнику, который содержит один или несколько создающих плазму электродов, причем уменьшающее образование макрочастиц покрытие осаждено по меньшей мере на части создающих плазму поверхностей одного или нескольких электродов для защиты создающих плазму поверхностей электродов от производимой плазмой эрозии и для предотвращения формирования твердых частиц с целью повышения тем самым производительности и продления срока службы плазменного источника.

Увеличить масштаб


наверх