Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 11´2017

  

(21) 

201791234 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2014.12.05

(51) 

H05H 1/24 (2006.01)

(86) 

PCT/US2014/068858

(87) 

WO 2016/089424 2016.06.09

(71) 

ЭЙ-ДЖИ-СИ ГЛАСС ЮРОУП, С.А. (BE); ЭЙ-ДЖИ-СИ ФЛЕТ ГЛАСС НОРТ ЭМЕРИКЕ, ИНК. (US); АСАХИ ГЛАСС КО., ЛТД. (JP)

(72) 

Бике Томас (BE), Машвитц Питер, Чамберс Джон (US), Вайме Хьюз (BE)

(74) 

Веселицкая И.А., Веселицкий М.Б., Кузенкова Н.В., Каксис Р.А., Белоусов Ю.В., Куликов А.В., Кузнецова Е.В., Соколов Р.А., Кузнецова Т.В. (RU)

(54) 

ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК С ПОЛЫМ КАТОДОМ

(57) Настоящее изобретение относится к плазменному источнику с полым катодом и способу обработки поверхности подложки с использованием такого плазменного источника, содержащего первый электрод (1) и второй электрод (2), причем каждый электрод содержит удлиненную полость (4), причем производят выбор значений по меньшей мере одного из следующих параметров так, чтобы обеспечить высокую плотность электронов и/или малое количество распыления поверхностей полости плазменного источника, причем этими параметрами являются форма поперечного сечения полости, площадь поперечного сечения полости, расстояние (11) между полостями и ширина (12) выходного сопла.

Увеличить масштаб


наверх