Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 10´2017

  

(21) 

201791415 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2015.12.01

(51) 

C23C 16/503 (2006.01)
C23C 16/44
(2006.01)
H01L 21/31
(2006.01)
H01L 21/365
(2006.01)
H05H 1/46
(2006.01)

(31) 

2014-259378

(32) 

2014.12.22

(33) 

JP

(86) 

PCT/JP2015/083792

(87) 

WO 2016/104076 2016.06.30

(71) 

АСАХИ ГЛАСС КОМПАНИ, ЛИМИТЕД (JP)

(72) 

Кавахара Хиротомо, Маесиге Кадзунобу, Аомине Нобутака, Ханекава Хироси (JP)

(74) 

Медведев В.Н. (RU)

(54) 

АППАРАТ ДЛЯ ПЛАЗМЕННОГО CVD

(57) Аппарат для плазменного CVD включает в себя источник плазмы, соединенный с источником питания переменного тока или двумя или более источниками питания переменного тока, выполненный с возможностью генерации плазмы; и матрицу магнитов, выполненную из множества магнитов. Источник плазмы имеет группу электродов, которая выполнена посредством расположения n электродов (n является четным целым числом, большим или равным двум), в порядке номеров электродов. Каждый из электродов группы электродов соединен с источником питания переменного тока. Между смежными электродами группы электродов образован выход проточного канала для газа-прекурсора. Матрица магнитов расположена так, что северный полюс или южный полюс каждого из магнитов обращен к источнику плазмы. В матрице магнитов для по меньшей мере одной пары двух соседних магнитов обращенные к источнику плазмы полюса располагаются так, что являются одинаковыми.

Увеличить масштаб


наверх