Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 02´2017

  

(11) 

025947 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201391498

(22) 

2012.04.06

(51) 

H01L 51/52 (2006.01)
H01L 31/041
(2014.01)
H01L 31/0224
(2006.01)

(31) 

1153109

(32) 

2011.04.08

(33) 

FR

(43) 

2014.01.30

(86) 

PCT/FR2012/050756

(87) 

WO 2012/143648 2012.10.26

(71) 

(73) СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)

(72) 

Тумазе Клер (FR), Питон Мартен (CH), Лейде Шарль (FR)

(74) 

Медведев В.Н. (RU)

(54) 

МНОГОСЛОЙНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕНОСА ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

(57) 1. Многослойное устройство (10; 20; 120; 230; 330) для переноса электрической энергии, содержащее функциональный элемент, который состоит из активной части и двух электродов, расположенных на каждой из сторон указанной активной части, при этом устройство дополнительно содержит органический полимерный слой (1; 102; 202; 302; 308), при этом один из указанных двух электродов (3; 403; 503) расположен возле данного полимерного слоя и образован из прозрачного пакета тонких слоев, поочередно содержащего n тонких металлических слоев (31; 431; 531), в частности тонких слоев на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и (n+1) антиотражающих покрытий ((Mi)1≤i≤n+1), где n≥1, при этом каждый тонкий металлический слой (31; 431; 531) расположен между двумя антиотражающими покрытиями (Mi), отличающееся тем, что указанный электрод (3; 403; 503) содержит

первый барьерный пакет (B1), который является барьером для влаги и газов, в концевом антиотражающем покрытии (M1), которое расположено под n тонкими металлическими слоями в направлении нанесения составного пакета электрода, при этом первый барьерный пакет (B1) содержит по меньшей мере четыре слоя (32-35; 532-535), попеременно имеющих более низкую и более высокую плотности, и/или

второй барьерный пакет (В2), который является барьером для влаги и газов, в концевом антиотражающем покрытии (Mn+1), которое расположено поверх n тонких металлических слоев в направлении нанесения составного пакета указанного электрода, при этом второй барьерный пакет (В2) содержит по меньшей мере три слоя (537-539), попеременно имеющих более низкую и более высокую плотности.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что каждое антиотражающее покрытие ((Mi)1≤i≤n+1), которое расположено под, в направлении нанесения составного пакета указанного электрода, тонким металлическим слоем (31; 431; 531), содержит в качестве слоя, нижележащего к данному тонкому металлическому слою, смачивающий слой (35; 433; 535) на основе кристаллического оксида, в частности на основе оксида цинка.

3. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что каждое антиотражающее покрытие ((Mi)1≤i≤n+1), которое расположено поверх, в направлении нанесения составного пакета указанного электрода, тонкого металлического слоя (31; 431; 531), содержит в качестве слоя, вышележащего к данному тонкому металлическому слою, окисленный или не окисленный тонкий металлический верхнеблокирующий слой (36; 436; 536).

4. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что по меньшей мере один барьерный пакет (B1, В2) указанного электрода (3; 403; 503) содержит по меньшей мере три последовательных слоя (32-35; 437-439; 532-535; 537-539), поочередно имеющих более низкую и более высокую степени кристалличности, причем отношение степени кристалличности слоя с большей степенью кристалличности к степени кристалличности слоя с меньшей степенью кристалличности больше или равно 1,1.

5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что по меньшей мере три последовательных слоя (32-35; 437-439; 532-535; 537-539) поочередно находятся в аморфном состоянии и, по меньшей мере, в частично кристаллическом состоянии.

6. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что составляющие слои по меньшей мере одного барьерного пакета (B1, В2) указанного электрода поочередно имеют более низкие и более высокие показатели преломления.

7. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что по меньшей мере для одного барьерного пакета (B1, В2) указанного электрода, каждый тонкий слой барьерного пакета имеет геометрическую толщину меньше чем 200 нм, предпочтительно меньше чем 100 нм.

8. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что по меньшей мере для одного барьерного пакета (B1, В2) указанного электрода каждый тонкий слой барьерного пакета является легированным или не легированным, оксидным, нитридным или оксинитридным слоем.

9. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что указанный полимерный слой содержит органический или гибридный органический-неорганический промежуточный слой, который расположен возле указанного электрода.

10. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что полимерный слой (1; 308) является подложкой указанного устройства.

11. Устройство по любому из пп.1-9, отличающееся тем, что полимерный слой (102; 202; 302) является промежуточным слоем ламинирования для соединения с подложкой (101; 201; 301) указанного устройства.

12. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно представляет собой органическое светоизлучающее диодное устройство (10), при этом указанные электроды представляют собой электроды органического светоизлучающего диода (12), а полимерный слой (1) представляет собой всю или часть структуры для инкапсулирования указанного органического светоизлучающего диода.

13. Устройство по любому из пп.1-11, отличающееся тем, что оно представляет собой фотоэлектрическое устройство (20; 120), при этом указанные электроды представляют собой электроды фотоэлектрического элемента (13; 113), а полимерный слой (1; 102) представляет собой всю или часть структуры для инкапсулирования указанного фотоэлектрического элемента.

14. Устройство по любому из пп.1-11, отличающееся тем, что оно представляет собой электрохромное устройство (230; 330), при этом указанный электрод представляет собой электрод электрохромной системы (214; 314), а полимерный слой (202; 302; 308) представляет собой всю или часть структуры для инкапсулирования указанной электрохромной системы.

15. Способ изготовления устройства по любому одному из предыдущих пунктов, содержащий этапы, при которых

формируют активный элемент, который состоит из активной части и двух электродов, расположенных на каждой из сторон активной части,

дополнительно формируют органический полимерный слой (1; 102; 202; 302; 308),

при этом один из указанных двух электродов (3; 403; 503) расположен возле данного полимерного слоя и образован из прозрачного пакета тонких слоев, поочередно содержащего n тонких металлических слоев (31; 431; 531), в частности тонких слоев на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и (n+1) антиотражающих покрытий ((Mi)1≤i≤n+1), где n≥1, при этом каждый тонкий металлический слой (31; 431; 531) расположен между двумя антиотражающими покрытиями (Mi);

формируют в указанном электроде

первый барьерный пакет (B1), который является барьером для влаги и газов, в концевом антиотражающем покрытии (M1), которое расположено под n тонкими металлическими слоями в направлении нанесения составного пакета электрода, при этом первый барьерный пакет (B1) содержит по меньшей мере четыре слоя (32-35; 532-535), попеременно имеющих более низкую и более высокую плотности; и/или

второй барьерный пакет (В2), который является барьером для влаги и газов, в концевом антиотражающем покрытии (Mn+1), которое расположено поверх n тонких металлических слоев в направлении нанесения составного пакета указанного электрода, при этом второй барьерный пакет (В2) содержит по меньшей мере три слоя (537-539), попеременно имеющих более низкую и более высокую плотности;

при этом, по меньшей мере, некоторые из тонких слоев указанного или каждого барьерного пакета (B1, В2) наносят путем распыления, в частности магнетронного распыления.

16. Способ изготовления по п.15, отличающийся тем, что все тонкие слои составного пакета указанного электрода, включая слои указанного или каждого барьерного пакета, наносят путем распыления, в частности магнетронного распыления.

Увеличить масштаб


наверх