Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 01´2017

  

(11) 

025790 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201401108

(22) 

2014.09.23

(51) 

H01L 21/304 (2006.01)

(43) 

2016.03.31

(96) 

2014/EA/0074 (BY) 2014.09.23

(71) 

(73) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ИНТЕГРАЛ"-УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ ХОЛДИНГА "ИНТЕГРАЛ" (BY)

(72) 

Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Роговой Владимир Иванович, Наливайко Олег Юрьевич, Трусов Владимир Леонидович (BY)

(74) 

Гаранович Г.А. (BY)

(54) 

СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН СО СФОРМИРОВАННЫМИ СТРУКТУРАМИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

(57) Способ химико-механической полировки кремниевых пластин со сформированными структурами интегральных микросхем, включающий размещение на полировальнике пластин со сформированными активными и пассивными элементами, межуровневым диэлектриком со вскрытыми окнами и конформно нанесенным вышележащим слоем вольфрама, первую стадию химико-механической полировки с подачей полировальной суспензии на полировальник в течение времени, которое позволяет избежать избыточного удаления вольфрама по отношению к поверхности диэлектрика, вторую стадию химико-механической полировки с подачей деионизованной воды вместо полировальной суспензии для достижения планарной поверхности вольфрама по отношению к поверхности диэлектрика независимо от расположения вскрытых окон на поверхности пластины, отличающийся тем, что перед первой стадией подают суспензию с расходом от 80 до 130 мл/мин при скорости вращения полировальника от 40 до 60 об/мин в течение от 4 до 6 с, первую стадию химико-механической полировки проводят при расходе суспензии от 80 до 130 мл/мин, скорости вращения полировальника от 8 до 14 об/мин, скорости вращения носителя с пластиной от 24 до 56 об/мин, давлении от 27 до 33 кПа, а вторую стадию химико-механической полировки проводят при расходе деионизованной воды от 80 до 130 мл/мин, скорости вращения полировальника от 40 до 60 об/мин, скорости вращения носителя с пластиной от 24 до 56 об/мин при ступенчатом снижении давления от величины на первой стадии до 0 кПа в течение от 15 до 25 с.


наверх