Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 01´2017

  

(11) 

025781 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201390594

(22) 

2011.10.18

(51) 

C23C 14/56 (2006.01)
C23C 16/54
(2006.01)
C03C 17/00
(2006.01)

(31) 

10188560.6

(32) 

2010.10.22

(33) 

EP

(43) 

2013.08.30

(86) 

PCT/EP2011/068176

(87) 

WO 2012/052428 2012.04.26

(71) 

(73) АГК ГЛАСС ЮРОП (BE)

(72) 

Лекомт Бенуа, Виам Хью (BE), Ёнемичи Томохиро (JP)

(74) 

Квашнин В.П. (RU)

(54) 

РАЗДЕЛЕНИЕ МОДУЛЬНОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

(57) 1. Способ нанесения многослойного покрытия на плоскую стеклянную подложку, содержащий осаждение методом катодного распыления при давлении от 0,1 до 99 мТорр по меньшей мере первого слоя в первой зоне осаждения, имеющей первый тип атмосферы, и по меньшей мере второго слоя во второй зоне осаждения, имеющей второй тип атмосферы, который отделен от первого типа атмосферы разделительной зоной, где плоская стеклянная подложка перемещается от первой зоны осаждения ко второй зоне осаждения через разделительную зону вдоль пути перемещения, отличающийся тем, что нейтральный газ вводится посредством инжекторов со скоростью потока от 0 до 10000 см3/мин в разделительную зону.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ атмосферы внутри разделительной зоны отводится посредством откачивания.

3. Способ по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что газ вводится через инжектор, содержащий трубу с просверленными отверстиями.

4. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что газ вводится вблизи каждой из двух зон осаждения.

5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что газ вводится в направлении и перпендикулярно пути перемещения.

6. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что газ вводится в направлении отверстий близкой зоны осаждения.

7. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что газ вводится между 10 и 100 мм, предпочтительно между 15 и 50 мм пути перемещения.

8. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что газ вводится внутри тоннельного пути, определенного выше подложки.

9. Модульное устройство для нанесения покрытия в виде тонких слоев на плоскую стеклянную подложку способом по п.1, имеющее по меньшей мере две зоны осаждения с зоной разделения газов между ними и имеющее путь перемещения стеклянной подложки, который проходит через отверстия от зоны осаждения в направлении другой зоны осаждения через разделительную зону, отличающееся тем, что зона разделения газов содержит по меньшей мере один инжектор газа в области пути перемещения, выполненный с возможностью подачи потока со скоростью от 0 до 10000 см3/мин в разделительную зону.

10. Модульное устройство для нанесения покрытия по п.9, отличающееся тем, что зона разделения газов содержит средства откачивания для удаления газа из зоны разделения газов.

11. Модульное устройство для нанесения покрытия по любому из пп.9 или 10, отличающееся тем, что покрывающие средства располагаются выше пути перемещения, определяя тоннельный путь вместе с путем перемещения внутри зоны разделения газов, по которому перемещается стеклянная подложка, и тем, что по меньшей мере один инжектор газа располагается внутри указанного тоннеля.

12. Модульное устройство для нанесения покрытия по любому из пп.9-11, отличающееся тем, что инжектор газа содержит трубу с просверленными отверстиями, расположенную вдоль ширины зоны перпендикулярно направлению пути перемещения.

13. Модульное устройство для нанесения покрытия по любому из пп.9-12, отличающееся тем, что инжектор газа располагается между 10 и 100 мм каждой из двух зон осаждения.

Увеличить масштаб


наверх