(21)	201690925 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2014.01.24
(51)	C23C 14/35 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)
(31)	201310545471.6
(32)	2013.11.06
(33)	CN
(86)	PCT/CN2014/071416
(87)	WO 2015/066982 2015.05.14
(71)	ШЭНЬЧЖЭНЬ ЧАЙНА СТАР ОПТОЭЛЕКТРОНИКС ТЕКНОЛОДЖИ КО., ЛТД. (CN)
(72)	Се Цзиньпин (CN)
(74)	Носырева Е.Л. (RU)
(54)	ОПОРНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ АНОДНОЙ ШТАНГИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛИТЕЛЯ И СОДЕРЖАЩЕЕ ЕГО МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

(57) Изобретение относится к опорному элементу для анодной штанги магнетронного распылителя и к магнетронному распылительному устройству, содержащему опорный элемент. Опорный элемент содержит опорную штангу и экран распылителя, который может быть прочно соединен с опорной штангой. Первая концевая часть опорной штанги выполнена в качестве опорного конца, взаимодействующего с анодной штангой, а вторая концевая часть выполнена в качестве установочного конца, который может быть прочно соединен с установочным отверстием экрана распылителя с тем, чтобы предотвратить выпадение опорной штанги из установочного отверстия. Поперечное сечение установочного конца меньше относительно поперечного сечения основной части опорной штанги. Опорная штанга опорного элемента в соответствии с настоящим изобретением может быть прочно соединена с экраном распылителя без возможности непредусмотренного отсоединения.