Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 07´2016

  

(11) 

023891 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201170814

(22) 

2009.12.04

(51) 

C23C 14/35 (2006.01)
C23C 14/56
(2006.01)

(31) 

10 2008 062 332.6

(32) 

2008.12.15

(33) 

DE

(43) 

2011.12.30

(86) 

PCT/DE2009/001712

(87) 

WO 2010/069289 2010.06.24

(71) 

(73) ГЮРИНГ КГ (DE)

(72) 

Фидлер Марио (DE)

(74) 

Медведев В.Н. (RU)

(54) 

УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ ОБРАБОТКИ И/ИЛИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК МЕТОДОМ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ

(57) 1. Устройство для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления, содержащее вакуумную камеру, в которой установлены несколько держателей (26) подложек, выполненных с возможностью приведения во вращение, по меньшей мере одно экранирующее приспособление (48, 50, 52, 54) и несколько блоков (12, 14, 16) обработки и/или нанесения покрытия, включающих по меньшей мере один из источника испарения, катода, мишени, магнетрона, нагревательного блока, нитевого катода и анода травления, расположенных так, что подложки (56), установленные в устройстве в различных местах, подвергаются различной обработке и/или покрытию поверхности за одну загрузку в вакуумной камере.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что зона воздействия одного блока (12) обработки и/или нанесения покрытия по меньшей мере на один держатель (24, 26) подложек ограничена с помощью указанного по меньшей мере одного экранирующего приспособления (48, 50, 52, 54).

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что экранирующее приспособление (48, 50, 52, 54) выполнено в виде модуля и образовано из составляемой из плоскостных компонентов, содержащих металлические листы (48, 50, 52), конфигурации (48, 50) разделительных стенок.

4. Устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что предусмотрено приспособление (10, 32-42), с помощью которого обеспечивается возможность изменения относительного положения держателей подложек (24, 26) и блоков (12) обработки и/или нанесения покрытия при закрытой вакуумной камере.

5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что в вакуумной камере предусмотрен размещенный в радиальном направлении внутри несущей конструкции для блоков (12, 14) обработки и/или нанесения покрытия монтажный стол (10), который имеет несколько распределенных по его периметру монтажных мест (18-1-18-8), снабженных источником (22) привода для держателей (24, 26) подложек.

6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что монтажные места оснащены держателями (24, 26) подложек и/или экранирующими приспособлениями (48, 50).

7. Устройство по любому из пп.5 или 6, отличающееся тем, что предусмотрено приводное и делительное приспособление (10, 32-42), с помощью которого обеспечивается возможность управления относительным вращательным движением монтажного стола (10) и несущей конструкции.

8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что монтажный стол (10) имеет привод вращения.

9. Устройство по любому из пп.5-8, отличающееся тем, что привод держателей (24, 26) подложек отводится на подложки (56).

10. Устройство по любому из пп.5-9, отличающееся тем, что вращательное движение по меньшей мере одного держателя подложек не связано с тактовым движением монтажного стола.

11. Устройство по любому из пп.1-10, отличающееся тем, что предусмотрена синхронная эксплуатация, по меньшей мере, выбранных блоков (12-1, 12-2) обработки и/или нанесения покрытия.

12. Устройство по любому из пп.5-11, отличающееся тем, что несущая конструкция снабжена монтажными местами для блоков (12) обработки и/или нанесения покрытия.

13. Способ обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления с использованием устройства для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек по любому из пп.1-12, в котором:

a) компонуют вакуумную камеру блоками (12) обработки и/или нанесения покрытия, содержащими по меньшей мере один из испарителя, катода, мишени, магнетрона, нитевого катода, анода травления и нагревательного блока (14), а также экранирующими элементами (48, 50) из модулей, которые необходимы для выполнения желаемой программы обработки и/или нанесения покрытия для различных подложек (56);

b) устанавливают в отдельные держатели (26) подложек подложки (56), которые должны подвергаться одинаковой обработке;

c) закрывают вакуумную камеру и

d) выполняют отдельные программы обработки и/или нанесения покрытия для подложек (56), объединенных в группы на держателях (24, 26) подложек, при одной загрузке.

14. Способ по п.13, отличающийся тем, что на этапе d) способа отдельные держатели (24, 26) подложек, при необходимости перемещаемые с заданным шагом, приводят в оптимальное для соответствующей обработки поверхности относительное положение относительно соответствующего блока (12) обработки и/или нанесения покрытия.

Увеличить масштаб


наверх