Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 10´2015

  

(21) 

201590775 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2013.12.18

(51) 

H01J 37/32 (2006.01)

(31) 

12199066.7

(32) 

2012.12.21

(33) 

EP

(86) 

PCT/JP2013/007432

(87) 

WO 2014/097620 2014.06.26

(71) 

АСАХИ ГЛАСС КОМПАНИ ЛИМИТЕД (JP)

(72) 

Тиксон М. Эрик, Мишель М. Эрик, Леклерк М. Жозеф (BE)

(74) 

Квашнин В.П. (RU)

(54) 

СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ЗАЖИГАНИЯ ДЛЯ ПАР ЭЛЕКТРОДОВ ДБР

(57) Способ обработки поверхности посредством диэлектрического барьерного разряда (ДБР), включающий следующие операции: подачу или прохождение подложки в реакционную камеру (2), где расположены по меньшей мере два электрода (10, 12) и по меньшей мере один противоэлектрод (13, 14, 15), при этом между указанными по меньшей мере двумя электродами (10, 12) и указанным по меньшей мере одним противоэлектродом (13, 14, 15) помещен диэлектрический барьер (16); подключение индуктивности (L1, L2) последовательно с каждым из указанных электродов (10, 12), при этом указанные индуктивности (L1, L2) намотаны на общий магнитный сердечник таким образом, чтобы результирующий магнитный поток этих двух индуктивностей являлся нулевым, когда в двух электродах (10, 12) циркулируют одинаковые токи; генерирование высокочастотного электрического напряжения такой величины, чтобы оно вызывало генерирование плазмы между по меньшей мере двумя электродами (10, 12) и по меньшей мере одним противоэлектродом (13, 14, 15); подачу в реакционную камеру смеси, состав которой таков, что при контакте с плазмой она разрушается и образует вещества, способные реагировать с поверхностью подложки (4).

Увеличить масштаб


наверх