Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 2´2015

  

(11) 

020830 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201200698

(22) 

2012.06.04

(51) 

C23C 18/16 (2006.01)

(31) 

2012111841

(32) 

2012.03.27

(33) 

RU

(43) 

2013.09.30

(71) 

(73) ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "СИБИРСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (СФУ) (RU)

(72) 

Патрушева Тамара Николаевна, Снежко Николай Юрьевич, Патрушев Валерий Васильевич (RU)

(74) 

Пантелеева Р.Д. (RU)

(54) 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ InSnO

(57) 1. Способ получения проводящей прозрачной пленки InSnO (ITO), включающий нанесение на подложку смеси растворов солей In и Sn, подсушивание и отжиг, отличающийся тем, что перед нанесением на подложку экстрагируют In и Sn из растворов неорганических солей карбоновыми кислотами, отделяют органические фазы (экстракты) от водных и полученные экстракты In и Sn смешивают в соотношении 9:1, далее центрифугируют подложку вместе с нанесенными экстрактами со скоростью преимущественно 2500 об/мин до их равномерного распределения по подложке, после чего подложку подсушивают при 100-130°C до удаления свободной и химически связанной воды, затем подвергают пиролизу на воздухе при 400-500°C до разложения органики и последующему отжигу, при этом нанесение смеси экстрактов In и Sn, центрифугирование, подсушивание и пиролиз циклируют от 5 до 30 раз в зависимости от требуемой толщины получаемой пленки.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что отжиг проводят на воздухе при 450°C не менее 30 мин.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что отжиг проводят в вакууме при 300°C в течение 3 мин.

Увеличить масштаб


наверх