Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 6´2014

  

(21) 

201490658 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2012.09.20

(51) 

G01C 19/5712 (2012.01)

(31) 

EP 11290426.3

(32) 

2011.09.21

(33) 

EP

(86) 

PCT/IB2012/001984

(87) 

WO 2013/041959 2013.03.28

(71) 

ТРОНИКС МАЙКРОСИСТЕМЗ С.А. (FR)

(72) 

Леклерк Жак (FR)

(74) 

Медведев В.Н. (RU)

(54) 

МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ ГИРОСКОПИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

(57) Резонаторный микроэлектронный гироскоп, предпочтительно, гироскоп микроэлектромеханической системы (МЭМС), содержит первую и вторую резонаторные массы (1, 2), подвешенные с возможностью поворотной вибрации. Эти две массы (1, 2) упруго соединены посредством четырех механических соединительных элементов (4, 5, 6, 7) с возможностью противофазной вибрации. На каждой резонаторной массе (1, 2) есть по меньшей мере один положительный и по меньшей мере один отрицательный чувствительный электрод (S11+, S11-, S21+, S21-) для детекции выходного внеплоскостного движения этих масс (1, 2). К упомянутым положительному и отрицательному чувствительным электродам подсоединена схема детекции, и она определяет выходной сигнал посредством дифференциальной детекции сигналов на основе следующей формулы: Sxout=({S21+}-m{S11+})-({S21-}-m{S11-}), где {S21+}, {S21-} - сигналы чувствительных электродов положительного и отрицательного детектирующих электродов соответственно второй массы, {S11+}, {S11-} - сигналы чувствительных электродов положительного и отрицательного детектирующих электродов соответственно первой массы, а m - коэффициент компенсации.

Увеличить масштаб


наверх