(21)	201490658 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2012.09.20
(51)	G01C 19/5712 (2012.01)
(31)	EP 11290426.3
(32)	2011.09.21
(33)	EP
(86)	PCT/IB2012/001984
(87)	WO 2013/041959 2013.03.28
(71)	ТРОНИКС МАЙКРОСИСТЕМЗ С.А. (FR)
(72)	Леклерк Жак (FR)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ ГИРОСКОПИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

(57) Резонаторный микроэлектронный гироскоп, предпочтительно, гироскоп микроэлектромеханической системы (МЭМС), содержит первую и вторую резонаторные массы (1, 2), подвешенные с возможностью поворотной вибрации. Эти две массы (1, 2) упруго соединены посредством четырех механических соединительных элементов (4, 5, 6, 7) с возможностью противофазной вибрации. На каждой резонаторной массе (1, 2) есть по меньшей мере один положительный и по меньшей мере один отрицательный чувствительный электрод (S11+, S11-, S21+, S21-) для детекции выходного внеплоскостного движения этих масс (1, 2). К упомянутым положительному и отрицательному чувствительным электродам подсоединена схема детекции, и она определяет выходной сигнал посредством дифференциальной детекции сигналов на основе следующей формулы: Sx_out=({S21+}-m{S11+})-({S21-}-m{S11-}), где {S21+}, {S21-} - сигналы чувствительных электродов положительного и отрицательного детектирующих электродов соответственно второй массы, {S11+}, {S11-} - сигналы чувствительных электродов положительного и отрицательного детектирующих электродов соответственно первой массы, а m - коэффициент компенсации.