Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 09´2013

  

(21) 

201200698 (13) A1       Разделы: A B C D E F G H    

(22) 

2012.06.04

(51) 

C23C 18/16 (2006.01)

(31) 

2012111841

(32) 

2012.03.27

(33) 

RU

(71) 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "СИБИРСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (СФУ) (RU)

(72) 

Патрушева Тамара Николаевна, Снежко Николай Юрьевич, Патрушев Валерий Васильевич (RU)

(74) 

Пантелеева Р.Д. (RU)

(54) 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ InSnO

(57) Изобретение относится к области тонкопленочных технологий, в частности технологии получения тонких пленок оксида индия-олова (ITO), и описывает новый способ получения проводящей прозрачной пленки InSnO (ITO), который включает экстракцию Sn и In из водных растворов их солей карбоновыми кислотами, получение экстрактов индия и олова. Указанный технический результат достигают тем, что экстракты In и Sn смешивают в соотношении 9:1, смесь экстрактов наносят на подложку, которую центрифугируют для равномерного растекания экстрактов, подсушивают при 100-130°С в течении 1 мин и далее подвергают пиролизу на воздухе при 400-500°С в течение 3 мин. После нанесения необходимого числа слоев (3-30) для достижения нужной толщины (50-900 нм) пленку отжигают при температуре 450 °С в течение 1 ч, или отжигают в вакууме при 300°С в течение 3 мин.


наверх