Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и патенты)"
Бюллетень 1´2010

  

(11) 

012961 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

200801014

(22) 

2006.11.16

(51) 

C23C 16/455 (2006.01)
C23C 16/00
(2006.01)
C23C 16/44
(2006.01)
C30B 25/00
(2006.01)
C30B 25/14
(2006.01)

(31) 

20055612

(32) 

2005.11.17

(33) 

FI

(43) 

2008.12.30

(86) 

PCT/FI2006/050500

(87) 

WO 2007/057519 2007.05.24

(71) 

(73) БЕНЕК ОЙ (FI)

(72) 

Соининен Пекка, Кето Лейф (FI)

(74) 

Дощечкина В.В., Липатова И.И., Рыбаков В.М., Новоселова С.В., Хмара М.В. (RU)

(54) 

РЕАКТОР ДЛЯ ПОСЛОЙНОГО АТОМНОГО ОСАЖДЕНИЯ

(57) 1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в реактор газа из реакционной камеры, отличающаяся тем, что впускные отверстия (30) и выпускные отверстия (40) расположены по контуру, определенному боковыми стенками таким образом, что длина контура разделена на часть подачи газа и часть отвода газа для подачи газа в реакционную камеру вдоль одного участка контура и отвода газа из реакционной камеры вдоль другого участка контура.

2. Реакционная камера по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена одним или несколькими входными каналами (14, 12), сообщающимися с впускными отверстиями (30), и одним или несколькими выходными каналами (16, 18), сообщающимися с выпускными отверстиями (40, 50).

3. Реакционная камера по п.1 или 2, отличающаяся тем, что внутренняя часть (28) реакционной камеры выполнена цилиндрической, при этом она содержит одну окружную боковую стенку.

4. Реакционная камера по п.1 или 2, отличающаяся тем, что внутренняя часть (28) реакционной камеры выполнена кубической.

5. Реакционная камера по п.1 или 2, отличающаяся тем, что внутренняя часть (28) реакционной камеры выполнена в форме прямоугольного параллелепипеда.

6. Реакционная камера по любому из пп.1-5, отличающаяся тем, что входные каналы (14, 12) и/или впускные отверстия (30) и выходные каналы (16, 18) и/или выпускные отверстия (40, 50) расположены таким образом, что газ может подаваться в реакционную камеру вдоль всей длины окружной боковой стенки.

7. Реакционная камера по любому из пп.1-6, отличающаяся тем, что выходные каналы (16, 18) и входные каналы (14, 12) выполнены в пластине (4) основания.

8. Реакционная камера по любому из пп.1-7, отличающаяся тем, что она содержит средства для регулировки отношения части подачи и части отвода.

9. Реакционная камера по п.8, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит средства для регулировки входных каналов (14, 12) и/или впускных отверстий (30), и/или выходных каналов (16, 18), и/или выпускных отверстий (40, 50) для регулировки количества газа, подаваемого во внутреннюю часть (28) реакционной камеры и/или отводимого из нее.

10. Реакционная камера по п.9, отличающаяся тем, что регулировочные средства (10, 26) расположены таким образом, чтобы регулировать местоположение, и/или размер, и/или число впускных отверстий (30) и/или выпускных отверстий (40, 50).

11. Реакционная камера по п.9, отличающаяся тем, что регулировочные средства (10, 26) расположены таким образом, чтобы регулировать число и/или местоположение входных каналов (14, 12) и/или выходных каналов.

12. Реакционная камера по любому из пп.8-11, отличающаяся тем, что регулировочные средства (10, 26) содержат перфорированную пластину (10), расположенную во входном канале (14) для подачи газа к впускному отверстию (30) через свои отверстия (26), причем длина перфорированной пластины и/или число отверстий (26) являются регулируемыми.

13. Реакционная камера по любому из пп.1-12, отличающаяся тем, что как пластина (4) основания, так и покрывающая пластина (2) снабжены держателями (22, 20) для подложки, и в этом случае две подложки могут обрабатываться одновременно.

14. Реакционная камера по п.13, отличающаяся тем, что держатель (20), предусмотренный в покрывающей пластине (2), расположен таким образом, что помещенная в него подложка образует по меньшей мере часть верхней стенки реакционной камеры, а держатель (22), предусмотренный в пластине основания, расположен таким образом, что помещенная в него подложка образует по меньшей мере часть нижней стенки реакционной камеры.



наверх